ایده آل وکیوم | Ideal Vacuum

همه چیز درباره خلا ء

انتخاب بوته مناسب

انتخاب بوته مناسب جهت لایه نشانی تبخیری تحت خلاء

جهت انتخاب بوته مناسب می توانید از جدول زیر استفاده نمایید یا برای مشورت با کارشناسان ما تماس بگیرید.

Coating material

Density

Melting
point

Boiling
point

Evaporation boat

[g/cm3]

[°C]

[°C]

W

Mo

Ta

AI

۲٫۷

۶۶۰

۲۴۶۷

+

AIF3

۲٫۹

۱۲۹۱

N/A

++

++

AI/1 – ۴% Cu

۲٫۷

۶۵۰

N/A

+

AI/0.1 – ۲% Si

۲٫۷

۶۴۰

N/A

+

AI/4% Cu/1% Si

۲٫۷

۶۴۰

N/A

+

Ag

۱۰٫۵

۹۶۱

۲۲۱۲

++

++

As2S3

۳٫۴

۳۰۰

۷۰۷

++

Au

۱۹٫۳

۱۰۶۳

۲۹۶۶

++

+

B2O3

۲٫۵

۴۶۰

۲۲۴۷

++

BaF2

۴٫۹

۱۲۸۰

۲۲۶۰

++

++

++

BaTiO3

۶٫۰

۱۶۰۰

N/A

+

+

BeO

۳٫۰

۲۵۳۰

۴۱۲۰

+

Bi

۹٫۸

۲۷۱

۱۵۶۰

++

++

++

BiF3

۵٫۳

۷۲۷

۹۰۰

++

++

Bi2O3

۸٫۹

۸۲۰

۱۸۹۰

+

+

CaF2

۳٫۲

۱۳۶۰

۲۵۰۰

++

++

++

CaO

۳٫۳

۲۵۸۰

۲۸۵۰

+

Cd

۸٫۶

۳۲۱

۷۶۵

++

++

++

CdSe

۵٫۸

۱۳۵۰

N/A

++

++

CdS

۴٫۸

۱۷۵۰

۱۴۰۵

++

++

++

CdTe

۶٫۲

۱۰۴۲

N/A

++

++

CeO2

۷٫۱

۲۱۵۰

N/A

++

CeF3

۶٫۲

۱۴۶۰

۱۹۸۷

++

++

Co

۸٫۹

۱۴۹۵

۲۹۰۰

+

++

Cr

۷٫۲

۱۸۷۵

۲۴۸۲

++

Cr2C3

۶٫۷

۱۸۵۰

۳۸۰۰

+

Cr2O3

۵٫۲

۲۳۴۵

۴۰۰۰

+

Cu

۸٫۹

۱۰۸۳

۲۵۹۵

++

Cu2O

۶٫۰

۱۲۳۵

۱۸۰۰

+

DyF3

۷٫۵

۱۱۵۵

۱۹۰۰

++

ErF3

۷٫۸

۱۱۴۴

۱۹۲۰

++

Er2O3

۸٫۶

۲۴۰۰

N/A

+

EuF3

۶٫۷

۱۲۸۰

۲۲۷۰

+

Eu2O3

۷٫۴

۲۱۰۰

N/A

+

Fe

۷٫۹

۱۵۳۶

۳۰۷۰

+

Fe2O3

۵٫۳

۱۵۹۴

N/A

+

Ga

۵٫۹

۳۰

۲۴۰۳

+

GaAs

۵٫۳

۱۲۳۸

N/A

++

GaP

۴٫۱

۱۳۵۰

N/A

++

++

++

Ge

۵٫۴

۹۳۷

۲۸۳۰

+

GeO2

۴٫۲

۱۱۱۵

N/A

++

++

++

HfF2

۷٫۱

۱۰۰۰

N/A

++

HoF3

۷٫۶

۱۱۴۳

۱۸۹۵

++

In

۷٫۳

۱۵۶

۲۰۰۰

++

++

In/10Sn

۷٫۳

۱۴۶

۱۰۰۰

+

In2O3

۷٫۲

۲۲۰۰

N/A

+

+

LaF3

۶٫۰

۱۴۹۵

۲۴۰۰

++

++

La2O3

۶٫۵

۲۲۶۰

۴۲۰۰

+

+

LiF

۲٫۶

۸۴۲

۱۶۷۶

++

++

LuF3

۸٫۳

۱۱۸۲

۲۲۰۰

++

++

Lu2O3

۹٫۴

۲۴۰۰

N/A

+

++

Mg

۱٫۷

۶۵۰

۱۱۰۷

++

++

++

MgF2

۳٫۱

۱۲۶۶

۲۲۳۹

++

MgO

۳٫۶

۲۶۴۰

۳۶۰۰

+

Mn

۷٫۴

۱۲۴۵

۲۰۹۷

+

++

++

MnS

۴٫۰

۱۶۱۵

N/A

+

+

MoO3

۴٫۷

۷۹۵

۱۱۵۵

++

MoS2

۴٫۸

۱۱۸۵

N/A

++

Na3AIF6

۲٫۹

۱۰۰۰

N/A

++

++

Na5AI3F14

۳٫۰

۱۰۲۷

N/A

++

++

NaF

۲٫۶

۹۸۸

۱۶۹۵

++

++

++

NdF3

۶٫۵

۱۳۷۷

۲۴۰۰

++

++

Nd2O3

۷٫۲

۲۲۴۰

N/A

+

Ni

۸٫۹

۱۴۵۳

۲۷۳۲

+

Ni/Cr

۷٫۵-۸٫۵

۱۵۰۰

N/A

+

Nb

۸٫۶

۲۴۶۸

۴۹۲۷

+

Nb2O5

۴٫۵

۱۵۱۲

N/A

+

Pd

۱۲٫۰

۱۵۵۲

۲۹۲۷

+

Pt

۲۱٫۵

۱۷۶۹

۳۸۲۷

+

PrF3

۶٫۳

۱۳۹۹

۲۲۵۵

++

++

Pr2O3

۷٫۱

۲۲۷۰

N/A

+

Rb

۱٫۵

۳۹

۶۸۸

+

SmF2

۶٫۶

۱۳۰۶

۲۳۲۳

++

Sm2O3

۷٫۱

۲۳۲۵

N/A

+

ScF3

۲٫۶

۱۵۳۰

۱۸۰۰

++

Sc2O3

۳٫۹

۲۴۰۰

N/A

+

Se

۴٫۸

۲۱۷

۶۸۵

+

+

+

Si

۲٫۳

۱۴۱۰

۲۳۵۵

+

SiO

۲٫۱

۱۷۰۵

۱۸۸۰

++

++

Sn

۷٫۳

۲۳۲

۲۲۶۰

++

++

SnO2

۶٫۹

۱۱۲۷

۱۸۵۰

+

+

SrF2

۴٫۲

۱۴۵۰

۲۴۸۹

++

++

Ta2O5

۸٫۳

۱۸۸۰

N/A

+

Te

۶٫۲

۴۵۰

۱۳۹۰

++

++

++

TbF3

۷٫۲

۱۱۷۲

۲۲۸۰

+

Tb2O3

۷٫۹

۲۳۰۰

N/A

+

+

ThF4

۶٫۳

۱۱۰۰

۱۶۸۰

++

++

Ti

۴٫۵

۱۶۶۸

۳۲۶۰

+

TiO2

۴٫۲

۱۷۷۵

۲۷۰۰

+

TiO

۴٫۹

۱۷۵۰

۳۰۰۰

++

Ti2O3

۴٫۶

۱۷۶۰

N/A

++

V

۶٫۱

۱۹۰۰

۳۴۱۰

+

+

WO3

۷٫۲

۱۴۷۳

N/A

++

Y

۴٫۵

۱۵۰۹

۲۹۲۷

++

YF3

۵٫۱

۱۱۵۵

۲۲۱۰

++

YbF3

۸٫۲

۱۱۵۷

۲۱۳۶

++

++

Yb2O3

۹٫۲

۲۳۴۶

N/A

+

Zn

۷٫۱

۴۲۰

۹۰۷

++

++

++

ZnSe

۵٫۴

۱۵۲۶

N/A

++

++

++

ZnS

۴٫۱

۱۸۵۰

۱۶۶۵

++

++

ZnTe

۵٫۵

۱۲۳۸

N/A

++

++

Zr

۶٫۵

۱۸۵۲

۳۵۷۸

+

ZrF4

۴٫۴

۶۰۰

۹۰۸

++

ZrO2

۵٫۶

۲۷۰۰

۴۳۰۰

+

ZrO

۶٫۴

۲۲۰۰

N/A

++

+ این بوته مناسب کار شماست.

++ این بوته برای کار شما شدیدا توصیه می گردد.

 

انتخاب طرح مناسب بوته

بوته تنگستنی مولیبدنی  بوته تنگستنی مولیبدنی بوته تنگستن مولیبدن
حوضچه V شکل

برای مواد با مذاب پخش شوندگی کم

حوضچه تخت

برای مواد با مذاب پخش شونده

حوضچه بیضی شکل

برای موادی که مذاب تمایل به گردش دارد

بوته تنگستنی مولیبدنی بوته تنگستنی مولیبدنی بوته تنگستنی مولیبدنی
حوضچه کروی شکل

برای مواد گران قیمت

حوضچه بزرگ

برای میزان زیادی ماده پوشش دهنده

دستگیره برش خورده

برای موادی که روی بوته پخش می شوند