انتخاب بوته مناسب – ایده آل وکیوم

انتخاب بوته مناسب جهت لایه نشانی تبخیری تحت خلاء

جهت انتخاب بوته مناسب می توانید از جدول زیر استفاده نمایید یا برای مشورت با کارشناسان ما تماس بگیرید.

Coating material	Density	Melting point	Boiling point	Evaporation boat
	[g/cm³]	[°C]	[°C]	W	Mo	Ta
AI	2.7	660	2467	+
AIF₃	2.9	1291	N/A		++	++
AI/1 – 4% Cu	2.7	650	N/A	+
AI/0.1 – 2% Si	2.7	640	N/A	+
AI/4% Cu/1% Si	2.7	640	N/A	+
Ag	10.5	961	2212	++	++
As₂S₃	3.4	300	707		++
Au	19.3	1063	2966	++	+
B₂O₃	2.5	460	2247		++
BaF₂	4.9	1280	2260	++	++	++
BaTiO₃	6.0	1600	N/A	+		+
BeO	3.0	2530	4120	+
Bi	9.8	271	1560	++	++	++
BiF₃	5.3	727	900		++	++
Bi₂O₃	8.9	820	1890	+	+
CaF₂	3.2	1360	2500	++	++	++
CaO	3.3	2580	2850			+
Cd	8.6	321	765	++	++	++
CdSe	5.8	1350	N/A		++	++
CdS	4.8	1750	1405	++	++	++
CdTe	6.2	1042	N/A		++	++
CeO₂	7.1	2150	N/A	++
CeF₃	6.2	1460	1987		++	++
Co	8.9	1495	2900	+	++
Cr	7.2	1875	2482	++
Cr₂C₃	6.7	1850	3800	+
Cr₂O₃	5.2	2345	4000	+
Cu	8.9	1083	2595	++
Cu₂O	6.0	1235	1800			+
DyF₃	7.5	1155	1900			++
ErF₃	7.8	1144	1920			++
Er₂O₃	8.6	2400	N/A	+
EuF₃	6.7	1280	2270			+
Eu₂O₃	7.4	2100	N/A	+
Fe	7.9	1536	3070	+
Fe₂O₃	5.3	1594	N/A	+
Ga	5.9	30	2403	+
GaAs	5.3	1238	N/A	++
GaP	4.1	1350	N/A	++	++	++
Ge	5.4	937	2830	+
GeO₂	4.2	1115	N/A	++	++	++
HfF₂	7.1	1000	N/A			++
HoF₃	7.6	1143	1895			++
In	7.3	156	2000	++	++
In/10Sn	7.3	146	1000	+
In₂O₃	7.2	2200	N/A	+		+
LaF₃	6.0	1495	2400		++	++
La₂O₃	6.5	2260	4200	+		+
LiF	2.6	842	1676		++	++
LuF₃	8.3	1182	2200	++		++
Lu₂O₃	9.4	2400	N/A	+	++
Mg	1.7	650	1107	++	++	++
MgF₂	3.1	1266	2239			++
MgO	3.6	2640	3600	+
Mn	7.4	1245	2097	+	++	++
MnS	4.0	1615	N/A	+	+
MoO₃	4.7	795	1155		++
MoS₂	4.8	1185	N/A		++
Na₃AIF₆	2.9	1000	N/A		++	++
Na₅AI₃F₁₄	3.0	1027	N/A		++	++
NaF	2.6	988	1695	++	++	++
NdF₃	6.5	1377	2400		++	++
Nd₂O₃	7.2	2240	N/A	+
Ni	8.9	1453	2732	+
Ni/Cr	7.5-8.5	1500	N/A	+
Nb	8.6	2468	4927	+
Nb₂O₅	4.5	1512	N/A	+
Pd	12.0	1552	2927	+
Pt	21.5	1769	3827	+
PrF₃	6.3	1399	2255		++	++
Pr₂O₃	7.1	2270	N/A	+
Rb	1.5	39	688		+
SmF₂	6.6	1306	2323			++
Sm₂O₃	7.1	2325	N/A	+
ScF₃	2.6	1530	1800			++
Sc₂O₃	3.9	2400	N/A	+
Se	4.8	217	685	+	+	+
Si	2.3	1410	2355	+
SiO	2.1	1705	1880		++	++
Sn	7.3	232	2260	++		++
SnO₂	6.9	1127	1850		+	+
SrF₂	4.2	1450	2489		++	++
Ta₂O₅	8.3	1880	N/A	+
Te	6.2	450	1390	++	++	++
TbF₃	7.2	1172	2280			+
Tb₂O₃	7.9	2300	N/A	+		+
ThF₄	6.3	1100	1680		++	++
Ti	4.5	1668	3260	+
TiO₂	4.2	1775	2700	+
TiO	4.9	1750	3000	++
Ti₂O₃	4.6	1760	N/A	++
V	6.1	1900	3410	+	+
WO₃	7.2	1473	N/A	++
Y	4.5	1509	2927	++
YF₃	5.1	1155	2210			++
YbF₃	8.2	1157	2136		++	++
Yb₂O₃	9.2	2346	N/A	+
Zn	7.1	420	907	++	++	++
ZnSe	5.4	1526	N/A	++	++	++
ZnS	4.1	1850	1665		++	++
ZnTe	5.5	1238	N/A		++	++
Zr	6.5	1852	3578	+
ZrF₄	4.4	600	908			++
ZrO₂	5.6	2700	4300	+
ZrO	6.4	2200	N/A	++

+ این بوته مناسب کار شماست.

++ این بوته برای کار شما شدیدا توصیه می گردد.

انتخاب طرح مناسب بوته


حوضچه V شکل برای مواد با مذاب پخش شوندگی کم	حوضچه تخت برای مواد با مذاب پخش شونده	حوضچه بیضی شکل برای موادی که مذاب تمایل به گردش دارد

حوضچه کروی شکل برای مواد گران قیمت	حوضچه بزرگ برای میزان زیادی ماده پوشش دهنده	دستگیره برش خورده برای موادی که روی بوته پخش می شوند